特長

・機密構造になっており速やかにガス置換が行え、各
　種ガス雰囲気を容易に保ちます
・高速昇温が行えます
・信頼性の高い温度制御性能を備え、操作も容易です
・保安昨日が完備され、無人でも安心して使用できます
・炉本体と制御部が一体化されており、省スペースです
・高品質のアルミナボード断熱材の採用により、断熱効
　果に優れ消費量が少なくてすみます

S□Aシリーズ　　最高温度1200℃〜1700℃

型式

S□A-2025D

S□A-2035D

S□A-2045D

炉内寸法
W×H×D　mm

200×２00×250

200×200×350

200×200×450

設備電力

6KVA

8.5KVA

9.5KVA

ヒーター容量

5.5KW

7.5KW

8.5KW

一次電源

AC200V　1φ　50/60Ｈｚ

使用雰囲気

大気中および窒素ガス

真空ガス置換

油回転ロータリーポンプ(標準装備)

真空度

13.3Pa以下

使用圧力

０〜0.1kgf/cm2G

発熱体

二硅化モリブデン（MoSi２）および金属発熱体

チャンバー材質

SUS製

制御方法

プログラム式PID連続制御

　

型式

 S□A-3035F S□A-3045F S□A-3550G

炉内寸法

 300×300×350 300×300×450 350×350×500

設備電力

 11KVA 13KVA 17KVA

ヒーター容量

 10KW 12KW 16KW

一次電源

AC200V　1φ　50/60Ｈｚ

使用雰囲気

大気中および窒素ガス

真空ガス置換

油回転ロータリーポンプ(標準装備)

真空度

13.3Pa以下

使用圧力

０〜0.1kgf/cm2G

発熱体

二硅化モリブデン（MoSi２）および金属発熱体

チャンバー材質

SUS製

制御方法

プログラム式PID連続制御

　

型式

 S□A-4060H S□A-4080H S□A-5080J

炉内寸法

 400×400×600 400×400×800 500×500×800

設備電力

 25KVA 31KVA 38KVA

ヒーター容量

 24KW 30KW 37KW

一次電源

 AC200V　3φ　50/60Ｈｚ

使用雰囲気

大気中および窒素ガス

真空ガス置換

油回転ロータリーポンプ(標準装備)

真空度

13.3Pa以下

使用圧力

０〜0.1kgf/cm2G

発熱体

二硅化モリブデン（MoSi２）および金属発熱体

チャンバー材質

SUS製

制御方法

プログラム式PID連続制御

　

各シリーズの最高温度･温度分布の特性
　 シリーズ名 SHA SBA SLA SKA
最高温度　℃ 大気中 1700 1650 1600 1200
雰囲気中 1500 1500 1500 1000
常用温度　℃ 大気中 1600 1550 1500 1100
雰囲気中 1400 1400 1400 900
温度分布　℃ 　 約±5℃（有効寸法内　大気中常用温度にて)